瑞士Inficon英福康真空計(jì)?? BCG450 B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)
INFICON B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì), BCG450,將三種不同的技術(shù)綜合在一個(gè)簡(jiǎn)單,小型,經(jīng)濟(jì)的組裝件中用于測(cè)量過程和基本壓強(qiáng)從5 x 10-10至1500毫巴(3.75 x 10-10至1125乇). BCG450設(shè)計(jì)于取代三種傳感器(熱離子,增強(qiáng)對(duì)流的皮拉尼和真空開關(guān)),從而降低成本和可貴的工具空間.
瑞士Inficon英??嫡婵沼?jì)?? BCG450? B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)優(yōu)勢(shì):
1,BCG450節(jié)省成本和工具空間和減少真空測(cè)量安裝和設(shè)置的復(fù)雜性。
2,與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)測(cè)量,在10乇以上為任何氣體混合物提供更可靠的預(yù)抽鎖控制。
3,皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱燈絲防止過早燒毀。
4,自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整減少操作人員的干預(yù)。
5,大氣壓下的差分壓強(qiáng)測(cè)量可消除與大氣壓強(qiáng)變更有關(guān)的不定性。
6,易于更換傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性。
7,可選圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口,例如 以太網(wǎng)。
8,RoHS兼容性。
瑞士Inficon英??嫡婵沼?jì)?? BCG450? B-A型皮拉尼電容膜片真空計(jì)應(yīng)用:
1,半導(dǎo)體過程,傳送和自鎖室的壓強(qiáng)測(cè)量。
2,工業(yè)鍍膜。
3,從低至超高真空范圍系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制。