特長(zhǎng)
非接觸式測(cè)量不透明、粗糙，易變形的樣品
反復(fù)性?再現(xiàn)性高
無(wú)標(biāo)準(zhǔn)曲線也可知道絕對(duì)厚度
測(cè)量徑很小，不受斑點(diǎn)的影響
樣品位置無(wú)需調(diào)整，放進(jìn)去即可。
穩(wěn)定性高，不會(huì)產(chǎn)生誤差，所以誰(shuí)都能操作。
光學(xué)方式原理所以安全
式樣
構(gòu)成圖?原理
構(gòu)成圖
任何人都會(huì)測(cè)量
原理
將光分別照射樣品上下部
測(cè)量距離基準(zhǔn)面的距離。
d=dall-(d1+d2)
比較測(cè)量方法
樣品例子和測(cè)量方法的比較
| 非接觸光學(xué)膜厚儀 | 接觸式膜厚儀 | X線式膜厚儀 | 変位計(jì) |
|---|
| 樣品 | 凝膠片 | ○ | × | ○ | ○ |
|---|
| 不織布 | ○ | × | ○ | × |
|---|
| 金屬板 | ○ | ○ | ○ | ○ |
|---|
| 樹脂 | ○ | ○ | ○ | ○ |
|---|
| 多孔質(zhì) | ○ | △ | ○ | × |
|---|
| 陶瓷 | ○ | ○ | ○ | × |
|---|
| 紙?木 | ○ | ○ | ○ | × |
|---|
| 測(cè)量條件 | 測(cè)量時(shí)間 | ○ 高速 | ○ | ○ | ○ |
|---|
| 非接觸測(cè)量 | ○ 非接觸 | × | ○ | ○ |
|---|
| 前處理 | ○ 不要 | ○ | × | ○ |
|---|
測(cè)量案例